声芯电子“一种声表滤波器的压电晶圆切开办法”专利发布
来源：ca8888 发布时间：2025-04-20 00:41:42天眼查显现，姑苏声芯电子科技有限公司“一种声表滤波器的压电晶圆切开办法”专利发布，请求发布日为2025年2月28日，请求发布号为CN119543865A。
本发明公开了一种声表滤波器的压电晶圆切开办法，包含以下过程：S1、供给一个压电晶圆，压电晶圆的正面设置了若干个离散的金属叉指电路；S2、在压电晶圆的正面涂改维护胶，维护胶将对应的金属叉指电路掩盖；S3、在压电晶圆的反面贴覆一层反面维护膜；S4、将压电晶圆放置在切开台上固定，使用切开刀从压电晶圆的正面进行直线切开构成井字形的切开槽，该切开槽的切开面具有一个与压电晶圆的正面相连的将声波朝反面反射的功能面；该切开槽将压电晶圆和金属叉指电路切开成为若干个独立的裸芯片；S5、去除每个裸芯片正面的维护胶和反面维护膜。该切开办法得到的声表滤波器可以削减从边际反射回的能量。
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